关于洁净室等动力采样的问题：所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，并且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。由于对净化工程的检测咱们主要关心两种粒径，pcr实验室设计施工，即0.5um和5um。非等动力采样关于≤0.5um的粒子影响不大。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。

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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

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